靜電消除器的原理及校準方法研究

丁鵬程；祁丹；陳偉
蘇州市計量測試院
摘要：在電子工業(yè)中,電子元器件越來越小型化、集成化,其本身存在靜電敏感結(jié)構(gòu)且各種高分子材料越來越被廣泛應用,所以靜電防護是一個非常重要不可回避的問題。在防靜電材料和設(shè)施中,以離子風機為代表的靜電消除器在工業(yè)中的應用越來越普遍,文章圍繞靜電消除器對其工作原理、校準用儀器及校準方法作簡要的分析研究,為靜電消除器的校準和工廠的靜電防護提供一定的技術(shù)支撐。

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