超精密光學鏡片三維表面形貌參數評定方法研究

吳乙萬1,任志英1,高誠輝1,林建興1,江偉2
1.福州大學 機械工程及自動化學院, 福建 福州 350116
2.福建省福光股份有限公司, 福建 福州 350004
摘要 分析了當前超精密光學鏡片表面評定方法及其存在的不足,提出引用ISO 25178-2中規范的部分表面3D參數來表征精密光學鏡片三維表面,找出光學鏡片表面形貌與對應的光學性能存在的關系,并實現ISO對超精密光學鏡片三維表面的評定。仿真實驗表明:當光學鏡片表面的高度服從高斯分布時,其評價光學系統性能的傳遞函數隨著均方值的減小而增大。用實例說明ISO的部分三維參數對光學鏡片三維表面可以很好地區分,利用新的綜合評價方法評定光學鏡片表面形貌具有一定的可行性。