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1 任務來源 依據國質檢量函(2015)146號“質檢總局關于下達2015年國家計量技術法規制制訂計劃的通知”，由中國科學院光電技術研究所和 中國測試技術研究院負責 JJF989-2017《數字式激光球面干涉儀校準規范》的制訂工作，制訂工作于2015年5月開始，2016年4季度報批。 2 制訂背景 數字式激光球面干涉儀的基本原理是通過分析參考球面與被測球面產生的干涉條紋而獲得被測球面面形 誤差信息，其檢測精度直接受到干涉儀誤差（參考面面形誤差、隨機電子噪聲、環境振動及氣流擾動等）的限制。近年來，大量進口和國產的數字式激光球面干涉儀在光學制造行業尤其是國防工業領域投入使用。 根據可查閱到得相關資料顯示，國內外目前尚沒有關于數字式激光球面干涉儀的校準規范，僅存在數字式激光平面干涉儀的校準規范《GJB/J 6221-2008 數字式激光平面干涉儀校準規范》。由于球面干涉儀與平面干涉儀之間在標準鏡的選擇、安裝與調整、光路結構、被測鏡的檢測與標定方法等方面存在極大的不同，其校準規范不能相互適用，經常出現不同用戶之間測量方法不統一、測量數據不吻合的問題，故十分有必要制定數字式激光球面干涉儀的校準規范來規范和完善生產廠家和計量機構等在校準球面干涉儀時在校準項目、校準方法、校準器具的要求及技術要求和準確度等級等方面的表述。為了保證量傳的準確性，有必要制定國家校準規范，保證量值的準確統一。 3 制訂原則 3.1合規性原則 本校準規范嚴格按照JJF1071-2010《國家計量校準規范編寫規則》要求進行編寫。術語和 計量單位及其符號使用規范。 3.2“三性”原則 校準規范的內容與現行有效相關標準相協調，技術內容具有先進性、科學性和可操作性。使本規范實用、管用、好用。 3.3繼承性與創新性相結合原則 在充分調研和歸納總結2003版平面等厚干涉儀校準規范使用過程中的經驗基礎上，結合數字式球面干涉儀與計量技術進步，確定數字式球面干涉儀應校準的主要計量特性、校準條件、校準項目、校準方法等。本規范中的校準方法通過實驗驗證，力求科學合理、簡便可行，確保校準結果準確可靠。 3.4行文通達簡明原則 本規范中的文字表述力求層次分明，語句簡明，公式表達準確。 4 制訂依據 本規范修定時主要參考了 JJG 28-2000《平晶 檢定規程》、JJF 1100-2003《平面等厚干涉儀校準規范》和GJB/J 6221-2008 《數字式激光平面干涉儀校準規范》。 5 主要制訂工作 5.1關于最大允許誤差的制訂 數字球面干涉儀的精度主要取決于其干涉儀球面鏡頭的精度。目前主流的干涉儀球面鏡頭按口徑、F數和面形質量進行分類。干涉儀生成廠商同時提供不同的選配鏡頭，其中國外的鏡頭廠家包括美國的Zygo公司、Kreischer公司和JENOPTIK公司，德國的Carl Zeiss公司和XONOX公司，日本的CVI Melles Griot公司和Fujifilm公司，以及我國的成都太科光電技術有限責任公司、南京英特飛光電技術有限公司和上海乾曜光學科技有限公司。現行的主要廠家生產的干涉儀球面鏡頭按精度等級分主要有如下三個等級：λ/10、λ/20和λ/40。 國內外主要廠家干涉儀球面鏡頭的面形質量情況如表1所示。 表1 國內外主要廠家干涉儀球面鏡頭 注：λ=632.8nm 5.2 最大允許誤差校準方法的制訂 按照干涉儀球面鏡頭按精度等級（λ/10、λ/20和λ/40）的不同，選用不同的校準方法。1級（λ/20）和2級（λ/10）球面干涉儀采用與λ/50精度等級的標準器直接比較的方法進行校準；0級（λ/40）及更高等級的球面干涉儀采用λ/40或λ/50精度等級的標準器進行三位置法校準。 六、征求意見情況和處理 《數字式激光平面干涉儀校準規范》編寫組 2017年4月25日
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