中科院電工所等單位研發可溯源計量型掃描電子顯微鏡

可溯源計量型掃描電子顯微鏡                               　　1um二氧化硅微球成像圖

近日，中科院電工所聯合中國計量科學院、國家納米科學技術中心共同研制成功國內首套可溯源計量型掃描電子顯微鏡。

中科院電工所在高分辨力場發射掃描電子顯微鏡的基礎上，加裝激光干涉儀測距的納米級高精度位移臺, 并提出了采用步進掃描代替傳統電子束掃描的圖像獲取新方法。該方法可直接關聯圖像掃描與激光干涉儀的位置測量，實現對樣品納米結構掃描成像的量值溯源，有效減少電子束掃描成像過程中放大倍率波動和掃描線圈非線性特征在納米尺度測量中產生的誤差，從而實現對樣品納米結構的溯源測量。

相關專家表示，該設備的研制成功，將對我國納米尺度計量標準的制定、掃描電子顯微鏡及其他納米尺寸測量儀器的校準、納米標樣和標物的校準、參與國際長度比對等起到重要作用。中國科學報