微納米三坐標測量機的高精度恒溫箱研制

作者：馮建1,李瑞君1,何亞雄1,范光照1,2
1.合肥工業大學儀器科學與光電工程學院,安徽 合肥 230009;
2. 臺灣大學機械工程學系,  臺北  10617
摘要：針對恒溫室控制精度低和分離式恒溫箱因振動而無法滿足微納米三坐標測量機需要的問題,研制了一套自然對流式高精度恒溫箱。用定制尺寸的中空亞克力板和輕便型超低導熱系數真空絕熱板制成絕熱箱體。以儀器測量點溫度作為溫度控制反饋值,均勻位于恒溫箱頂部的9個半導體制冷片對其周圍空氣進行制冷,箱內冷空氣均勻向下流動,與向上流動的熱空氣進行熱交換。采用LabVIEW與MATLAB混合編寫高精度溫控程序。實驗結果表明:設定值為20 ℃時的穩態誤差為0.003 2 ℃,穩態時溫度波動小于0.03 ℃,優于一級恒溫室。新型恒溫箱具有成本低、能耗小和無振動干擾等優點。