可選擇型低值電容標準的研究

作　　者：張艷麗[1] ;遲潔茹[1] ;黃璐[2] ;LEE RAEDUK[2] ;齊福強[1]
機構地區：[1]青島大學自動化學院,山東青島266071; [2]中國計量科學研究院,北京100029
摘　　要：在電磁計量和儀器儀表行業中,通常需要高穩定電容標準器裝置對儀器設備進行量值檢定校準以確保它們測量的準確性。可選擇型低值電容就是一種可在同一系統中輸出不同穩定微小電容值的標準器。針對該類電容器最大不確定度來源之一,即屏蔽柵通孔的邊緣效應,文中采用3-D電場仿真對其進行了深入研究分析,同時依據仿真結果完成了一種可選擇型低值電容標準器的整體結構設計,為其實際加工制作奠定了堅實的理論基礎。