新型一等大量塊標準裝置的研制

張旭東,劉香斌,吳月艷
中國計量科學研究院, 北京 100029
摘要 采用多波長干涉法實現125～1000 mm量塊的高精度測量。633 nm、543 nm和612 nm 3種激光波長通過單根光纖引入到一臺泰曼-格林型干涉儀中,采用小數重合法進行量塊長度測量。改進的Edlen公式用于激光波長修正,干涉條紋小數采用5步移相法計算,專用的測量軟件完成量塊的自動測量。對測量裝置進行了大量的測量實驗,測量不確定度為U=0.02 μm+ 0.1×10- 6L(k=3)。