工業CT 長度測量誤差校準的探索研究

摘要: 針對工業CT 在尺寸測量領域難以溯源的問題，對工業CT長度測量誤差的校準方法進行f 探索研究。工業CT的長度測量誤差分為球心距誤差和端而距誤差兩類。對于球心距誤差，研制出種小森林球標準器，并使用微納坐標測量機對其進行了校準。該標準器用于型號為Mctrotom 1500 的工業CT 的校準時， 球心距誤差小于土2 um，且小于儀器的最大允許誤差。對于端面距誤差，分別選用常見的金屬量塊和陶瓷量塊作為尺寸實物標準器進行了探索實驗， 測得端面距誤差超出了儀器的最大允許誤差。實驗結果表明，使用球心距和端面距校準得到的工業CT 的測量誤差差異很大，并且對于同一長度，端面距誤差遠大于球心距誤類。

作者：宋旭；施玉書；宋小平；李東升；陳思文；李適；高思田
單位：中國計量學院；中國計量科學研究院；天津大學精密測試技術及儀器國家重點實驗室