激?光?干?涉?儀?使?用?技?巧

1引言

高性能激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標最常用的標準儀器，作者所在單位使用的是英國RENISHAW公司生產的ML10激光干涉儀，具有性能穩定，使用方便等特點。

通過較長時間使用，作者認為測量人員除了要考慮環境、溫度、原理等影響測量的常規因素外，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。

作者：魏純
單位：廣州市計量檢測技術研究院,廣東,廣州,510030
摘要：本文討論了激光干涉儀在使用中的準直等技巧，用戶在實際使用中增加配件以及維護中遇到的問題。