國家重點實驗室成功研制出半浮柵晶體管器件

隨著動態隨機存儲器存儲密度的提升，電容加工的技術難度和成本大幅度提高，成為制約動態隨機存儲器發展的關鍵性因素。因此，科研人員一直在尋找可以用于制造動態隨機存儲器的無電容器件技術。專用集成電路與系統國家重點實驗室（復旦大學）張衛教授團隊長期以來一直從事集成電路工藝和新型半導體器件的研發，于近期取得重大突破，成功研發出半浮柵晶體管（SFGT）。采用該新器件構成的動態隨機存儲器，無需電容器便可實現傳統動態隨機存儲器全部功能，不但成本大幅降低，而且集成度更高，讀寫速度更快。此外，半浮柵晶體管還可應用于主動式圖像傳感器芯片，提高感光單元密度從而提升圖像傳感器的分辨率和靈敏度。這項研究成果發表在近日出版的《科學》雜志上。目前，動態隨機存儲器、靜態隨機存儲器和圖像傳感器技術的核心專利基本上都被美光、三星、英特爾、索尼等國外公司控制。半浮柵晶體管作為一種基礎電子器件，在存儲和圖像傳感等領域的潛在應用市場規模達到三百億美元以上。該器件的成功研制有助于我國掌握集成電路的核心器件技術，是我國在新型微電子器件技術研發上的一個里程碑。