蔡司三坐標檢定咨詢

我們廠的蔡司三坐標最近剛叫蔡司售后的人來做了維護保養。我們機子的精度是1.5+L/300，在進行MPE-E驗收的時候，y軸的測量我有些困惑，根據蔡司的規定，y軸用100-500的量塊在右邊靠近光柵尺的地方和左邊遠離光柵尺的地方分別測量10次，取平均值。但是測量的結果是遠離光柵尺的地方測得值比較好，雖然兩個地方測量的值都在精度范圍內，但是我認為遠離光柵尺的地方測量值應該偏差比較大啊！不知道出現這種數值是為什么，蔡司的人認為是正確的，而且他的檢定程序是全球通用的肯定沒有錯的。 左邊數據是靠近光柵尺，右邊數據是遠離光柵尺。

現在論壇里未免也太冷清了吧！

主要是寫的東西看不明白，你想說什么
單從2份數據上看，這臺儀器挺好的

哈哈 ，一般 通常的原理就是說，遠離那個光柵尺的那邊因為距離變形等原因，會跟光柵尺的數據不一致程度會大些，其實現在是檢定的，已經補償過了，可能軟件就是按遠離的數據補償的，所以比較好。

這個主要看他在哪標定了，在遠離的標，遠離的數據就好，在近的標就近的好
總之都要在誤差內就可以了

精度是1.5+L/300的設備，兩個位置的數據最多僅差0.4微米，這么小的差異是且僅用一個100MM的量塊測量的數據是說明不了什么問題的。樓主還應該再看其它量塊特別是500MM量塊在兩個位置差異，并再進行綜合比較。