平面平晶的平面度校準能力驗證計劃結果報告 CNAS M0029

2.1 開展本次計劃的目的和意義

平面度是ISO 1101形狀位置測量中的基本參量。為確定各參加實驗室平面形狀的校準能力，真實地反映各參加實驗室平面形狀測量標準裝置的水平，保證平面度量值傳遞的準確性，特組織本次能力驗證計劃。

通過本次能力驗證將客觀證明各參加實驗室平面形狀的校準水平和綜合能力，同時可以增加客戶對實驗室的信心。

2.2 參加實驗室情況

共有45家實驗室報名參加本次能力驗證計劃，其中參加實驗室中平面度校準能力已獲認可實驗室為44家，占參加實驗室的97.8%。參加實驗室范圍涉及全國20個省、自治區和直轄市，其中省級計量機構16家、市級計量機構17家、國防系統校準實驗室11家和其他校準實驗室1家。

2.3 校準依據

本次能力驗證計劃校準方法依據JJG 28-2000《平晶》計量檢定規程。

2.4 校準項目

本次能力驗證計劃要求實驗室按照日常校準程序和實驗室的最佳測量能力校準平面平晶的平面度。

2.5 樣品描述

本次能力驗證計劃采用材質為K9光學玻璃，直徑為Φ100mm，厚度為25 mm的平面平晶作為樣品。

由于校準能力驗證計劃的傳遞周期較長，所以平面平晶的穩定性是本次能力驗證計劃能夠順利進行的基礎，為了避免由于平面平晶的不穩定影響最終結果評價，實施機構在樣品傳遞前、樣品傳遞過程中和樣品傳遞結束后對樣品進行了穩定性考核。

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從平面平晶的平面度校準能力驗證計劃結果報告可以看出：

      1.采用移項法校準的只有3家實驗室；

      2.采用等傾法校準的只有2家實驗室；

      3.采用等厚法校準的多達40家實驗室。

     由此可以看出，絕大部分實驗室還是采用比較老的標準平晶、等厚干涉儀進行測量，故絕大部分實驗室沒有條件或能力對標準平晶進行檢定/校準，只能開展一般工作平晶的檢定/校準。比較遺憾的是，某個實驗室有等傾干涉儀，也依然無能力開展對標準平晶進行檢定/校準的量值傳遞或溯源。