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結構深、角度大、反射差？用共焦，就對啦！

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發布時間: 2023-8-3 18:27

正文摘要:

隨著超精密加工技術的不斷進步，各種微納結構元件廣泛應用于超材料、微電子、航空航天、環境能源、生物技術等領域。其中超精密3D顯微測量技術是提升微納制造技術發展水平的關鍵，中圖儀器自主研發的白光干涉掃描和共 ...

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