點(diǎn)石成金||中圖儀器光學(xué)3D表面輪廓儀助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展

正文摘要:

引言：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個(gè)點(diǎn)石成金的行業(yè)，將從普通的石英砂中提取的硅原料制成擁有現(xiàn)代工業(yè)系統(tǒng)“心臟”之稱的IC芯片，中間須歷經(jīng)數(shù)十上百道工序，從硅晶圓的制備到晶圓IC的制造，每一步都對(duì)工藝流程的質(zhì)量有著嚴(yán)格的 ...