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淺析環境因素對激光干涉儀測量精度的影響(上)

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發布時間: 2017-12-29 14:56

正文摘要:

本帖最后由 中圖儀器 于 2017-12-29 15:05 編輯 影響激光干涉儀測量精度的環境因素主要指: 1、當前測量環境下的空氣溫度、濕度、大氣壓力,影響在空氣中傳播的激光波長。 2、被測工件溫度,影響被測對象的熱膨脹 ...

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王大鵬 發表于 2018-2-27 15:47:56
“綜上,對環境因素進行綜合考量,最壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差。”
個人認為,應該為0.53ppm。

補充內容 (2018-4-18 08:49):
“綜上,對環境因素進行綜合考量,最壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差。”
這句話是對的。環境因素不包括激光波長的穩定度。

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