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白光干涉儀的工作原理和測量應用

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發布時間: 2017-12-4 17:41

正文摘要:

　　白光干涉儀目前在3D檢測領域是精度最高的測量儀器之一，在同等系統放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法 ...

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