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發(fā)布時(shí)間: 2017-12-4 17:41
正文摘要:白光干涉儀目前在3D檢測(cè)領(lǐng)域是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一,在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它的儀器無法 ... |
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