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標題:
GB/T 14140.2-1993 硅片直徑測量方法 千分尺法
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作者:
jinyibu
時間:
2009-1-16 12:23
標題:
GB/T 14140.2-1993 硅片直徑測量方法 千分尺法
【 標準編號 】 GB/T 14140.2-1993
【 標準名稱 】 硅片直徑測量方法 千分尺法
【 英文名稱 】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Micrometer method
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-2-6
【 實施日期 】 1993-10-1
【【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 3P
【 引用標準 】 GB 12962; GB 2828
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