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標題: GB/T 14145-1993 硅外延層堆垛層錯密度測定干涉相襯顯微鏡法 [打印本頁]

作者: jinyibu 時間: 2009-1-16 12:12
標題: GB/T 14145-1993 硅外延層堆垛層錯密度測定干涉相襯顯微鏡法
【標準編號】 GB/T 14145-1993
【標準名稱】硅外延層堆垛層錯密度測定干涉相襯顯微鏡法
【英文名稱】 Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-coutrast microscopy
【發布單位】 SBTS
【批準單位】國家技術監督局
【發布日期】 1993-2-6
【實施日期】 1993-10-1
【所屬標準】 GB
【開本頁數】 3P
【采用關系】 ASTM F522-1984,REF

bz001011215.pdf

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