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標題: GB/T 6618-1995硅片厚度和總厚度變化測試方法 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-12-31 12:25
標題: GB/T 6618-1995硅片厚度和總厚度變化測試方法
【 標準編號 】 GB/T 6618-1995
【 標準名稱 】 硅片厚度和總厚度變化測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數(shù) 】 7P
【 替代標準 】 GB 6618-1986
【 引用標準 】 GB 12964; GB 12965
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 533-1990,EQV
【 起草單位 】 北京有色金屬研究總院

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