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計量論壇
標題:
GB/T 6620-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法
[打印本頁]
作者:
woshi_tjy
時間:
2008-12-31 12:23
標題:
GB/T 6620-1995硅片翹曲度非接觸式測試方法
【 標準編號 】 GB/T 6620-1995
【 標準名稱 】 硅片翹曲度非接觸式測試方法
【 英文名稱 】 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning
【 發(fā)布單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 批準單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-4-18
【 實施日期 】 1995-12-1
【 開本頁數 】 6P
【 替代標準 】 6620-86
【 采用關系 】 ASTM F 657-1991,EQV
【 起草單位 】 洛陽單晶硅廠
【 起 草 人 】 王從贊; 郭瑾; 袁景怡
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