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標(biāo)題: GB/T 13388-1992硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測(cè)量方法 [打印本頁]

作者: lxm4 時(shí)間: 2008-12-28 11:20
標(biāo)題: GB/T 13388-1992硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測(cè)量方法
【標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 13388-1992
【標(biāo)準(zhǔn)名稱】硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測(cè)量方法
【英文名稱】 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
【發(fā)布單位】 SBTS
【批準(zhǔn)單位】國家技術(shù)監(jiān)督局
【發(fā)布日期】 1992-2-19
【實(shí)施日期】 1992-10-1
【英文關(guān)鍵詞】 X射線; 性能測(cè)量
【所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【開本頁數(shù) 】 4P
【采用關(guān)系】 ASTM F547-1933,EQV

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