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標題: GB/T 15861-1995 離子束蝕刻機通用技術(shù)條件 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-12-28 10:44
標題: GB/T 15861-1995 離子束蝕刻機通用技術(shù)條件
【 標準編號 】 GB/T 15861-1995
【 標準名稱 】 離子束蝕刻機通用技術(shù)條件  
【 英文名稱 】 Generic specification of ion beam etching system
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-12-22
【 實施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 引用標準 】 GB 191; GB 5080.7; SJ 142; SJ 1224; SJ/T 10152
【 起草單位 】 電子工業(yè)部長沙半導(dǎo)體工藝設(shè)備研究所
【 起 草 人 】 安志超; 廖溫初

BZ002023067.pdf

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