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標題: GB/T 15862-1995離子注入機通用技術條件 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-12-28 10:43
標題: GB/T 15862-1995離子注入機通用技術條件
【 標準編號 】 GB/T 15862-1995
【 標準名稱 】 離子注入機通用技術條件  
【 英文名稱 】 Generic specification for ion implantation equipment
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-12-22
【 實施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數 】 9P
【 引用標準 】 GB 191; GBn 193; GB 5080.7; GB 6388; SJ 142; SJ 1276; SJ 2573
【 起草單位 】 電子工業部第四十八研究所
【 起 草 人 】 顏亨迪; 廖溫初




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