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標(biāo)題: GB/T 15870-1995 硬面光掩模用鉻薄膜 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時(shí)間: 2008-12-28 10:38
標(biāo)題: GB/T 15870-1995 硬面光掩模用鉻薄膜
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 15870-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硬面光掩模用鉻薄膜  
【 英文名稱 】 Chrome thin films for hard surface photomasks
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-12-22
【 實(shí)施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數(shù) 】 7P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7239-87; GB 7240-87; GB 7241-87; GB/T 15871-1995; SJ/T 10584-94
【 采用關(guān)系 】 NEQ SEMI Semip 2-86
【 起草單位 】 長(zhǎng)沙韶光微電子總公司; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所
【 起 草 人 】 吳保華; 王亦林; 趙雨生; 談仁良




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