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計量論壇
標(biāo)題:
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-12-28 10:37
標(biāo)題:
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 15871-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硬面光掩模基板
【 英文名稱 】 Hard surface photomask substrates
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-12-22
【 實(shí)施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數(shù) 】 12P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 3102.3-93; GB 7238-87; GB 9622.2-88; SJ/T 10584-94
【 采用關(guān)系 】 NEQ SEMI Semi P1-92
【 起草單位 】 長沙韶光微電子總公司; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所
【 起 草 人 】 吳保華; 王亦林; 趙雨生; 談仁良
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