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標(biāo)題: GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時(shí)間: 2008-12-22 18:22
標(biāo)題: GB/T 16523-1996圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 16523-1996
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范  
【 英文名稱 】 Specification for round quartz photomask substrates
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1996-9-9
【 實(shí)施日期 】 1997-5-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7238-87; GB 9622.2-88
【 采用關(guān)系 】 EQV SEMI P4-92
【 起草單位 】 長沙韶光微電子總公司; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所
【 起 草 人 】 談仁良; 吳保華; 王亦林; 韓艷芬




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