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標題:
GB/T 16524-1996光掩模對準標記規范
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-12-22 18:21
標題:
GB/T 16524-1996光掩模對準標記規范
【 標準編號 】 GB/T 16524-1996
【 標準名稱 】 光掩模對準標記規范
【 英文名稱 】 Specification for registration marks for photomasks
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1996-9-9
【 實施日期 】 1997-5-1
【 開本頁數 】 5P
【 引用標準 】 SJ/T 10152-91; SJ/T 10584-94
【 采用關系 】 EQV SEMI P6-88
【 起草單位 】 中國科學院微電子中心
【 起 草 人 】 陳寶欽; 陳森錦; 陳福山; 馮朝斌
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