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標(biāo)題:
GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-12-22 18:19
標(biāo)題:
GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 16527-1996
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范
【 英文名稱 】 Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1996-9-9
【 實施日期 】 1997-5-1
【 開本頁數(shù) 】 7P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7238-87; GB 7239-87; GB/T 15871-1995; GB/T 15870-1995; SJ/T 10584-94
【 采用關(guān)系 】 EQV SEMI P3-90
【 起草單位 】 長沙韶光微電子總公司; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所
【 起 草 人 】 談仁良; 吳保華; 王亦林; 韓艷芬
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