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標題: GB/T 1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-12-5 19:53
標題: GB/T 1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法
【 標準編號 】 GB/T 1558-1997
【 標準名稱 】 硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法  
【 英文名稱 】 Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-12-22
【 實施日期 】 1998-8-1
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 替代標準 】 GB 1558-1983
【 引用標準 】 GB/T 6618-95
【 采用關系 】 ASTM F123-1991,EQV
【 起草單位 】 峨嵋半導體材料廠




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