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計量論壇
標題:
GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質(zhì)量光反射測試方法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-12-5 19:51
標題:
GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質(zhì)量光反射測試方法
【 標準編號 】 GB/T 17169-1997
【 標準名稱 】 硅拋光片和外延片表面質(zhì)量光反射測試方法
【 英文名稱 】 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-12-22
【 實施日期 】 1998-8-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 引用標準 】 GB/T 6624-1998; GB/T 14142-93; GB/T 14262-93
【 起草單位 】 南開大學; 天津市半導體材料廠
【 起 草 人 】 李增發(fā); 王宏杰; 張福禎; 顏彩蘩; 張光寅; 鄧江東
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