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標題: GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質量光反射測試方法 [打印本頁]

作者: woshi_tjy 時間: 2008-12-5 19:51
標題: GB/T 17169-1997 硅拋光片和外延片表面質量光反射測試方法
【標準編號】 GB/T 17169-1997
【標準名稱】硅拋光片和外延片表面質量光反射測試方法
【英文名稱】 Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
【發布單位】國家技術監督局
【批準單位】國家技術監督局
【發布日期】 1997-12-22
【實施日期】 1998-8-1
【開本頁數】 9P
【引用標準】 GB/T 6624-1998; GB/T 14142-93; GB/T 14262-93
【起草單位】南開大學; 天津市半導體材料廠
【起草人】李增發; 王宏杰; 張福禎; 顏彩蘩; 張光寅; 鄧江東

BZ002022667.pdf

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