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標題: GB/T 12964-2003硅單晶拋光片 [打印本頁]

作者: woshi_tjy 時間: 2008-10-4 13:53
標題: GB/T 12964-2003硅單晶拋光片
【標準編號】 GB/T 12964-2003
【標準名稱】硅單晶拋光片
【英文名稱】 Monocrystalline silicon polished wafers
【發布單位】國家質量監督檢驗檢疫總局
【發布日期】 2003-6-16
【實施日期】 2004-1-1
【開本頁數】 9P
【替代標準】 GB/T 12964-1996
【引用標準】 GB/T 1550-1997; GB/T 1552-1995; GB/T 1554-1995; GB/T 1555-1997; GB/T 1558-1983; GB/T 2828-1987; GB/T 4058-1995; GB/T 6616-1995; GB/T 6618-1995; GB/T 6619-1995; GB/T 6620-1995; GB/T 6621-1995; GB/T 6624-1994; GB/T 11073-1989; GB/T 12962-1996; GB/T 13387-1992; GB/T 13388-1992; GB/T 14140.1-1993; GB/T 14140.2-1993; GB/T 14143-1993; GB/T 14264-1993; GB/T 14844-1993; YS/T 26-1992
【起草單位】北京有色金屬研究總院; 洛陽單晶硅有限責任公司
【起草人】翟富義; 孫燕; 董慧燕; 盧立延; 曹孜; 孫文海

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