計量論壇

標題: 橢偏儀的結構和原理 [打印本頁]

作者: jane_wang 時間: 2008-8-12 15:56
標題: 橢偏儀的結構和原理
不知道有沒有人用橢偏儀

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作者: Rie 時間: 2008-8-12 20:54
此類儀器較多用于長度量的測量

作者: kking 時間: 2009-1-6 12:32

原帖由 Rie 于 2008-8-12 20:54 發表
此類儀器較多用于長度量的測量

橢偏儀一般是測試薄膜的厚度的...可到0.1nm級別.測試長度的橢偏儀倒沒有聽說過.

作者: Rie 時間: 2009-1-13 20:01
我說的是長度量，0.1nm不是表征長度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ]

作者: shiftctl 時間: 2020-4-29 15:23
沒積分。。。。

作者: shiftctl 時間: 2020-7-3 17:11

kking 發表于 2009-1-6 12:32
橢偏儀一般是測試薄膜的厚度的...可到0.1nm級別.測試長度的橢偏儀倒沒有聽說過. ...

確實式測量厚度，本想再這個論壇搜索下這個資料的，看來用這個的人比較少

作者: shiftctl 時間: 2020-8-25 16:19

Rie 發表于 2009-1-13 20:01
我說的是長度量，0.1nm不是表征長度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ] ...

這個論壇能否專業點。
這個是基本半導體行業用于測量膜厚度的。標樣基本是100nm的厚度膜。
而且涉及橢偏儀角度之類的，所以校準應該是涉及角度和膜厚還有折射率之類的。
目前我看了中國計量院好像有這個，還有光伏中心實驗室也有部分有，應該是用標樣片拿到現場比對下。
還不如自己拿標樣去廠家那邊跑一下數據。

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