計量論壇
標題:
SJ 2758-87同型外延層厚度的紅外干涉測試方法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-8-9 19:14
標題:
SJ 2758-87同型外延層厚度的紅外干涉測試方法
【 標準編號 】 SJ 2758-87
【 標準名稱 】 同型外延層厚度的紅外干涉測試方法
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1987-2-10
【 實施日期 】 1987-7-1
【 開本頁數(shù) 】 11P
【 起草單位 】 電子工業(yè)部四十六所; 電子工業(yè)部標準化研究所
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