計量論壇
標題:
SJ 2794-87電子級氣體
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-8-9 18:51
標題:
SJ 2794-87電子級氣體
【 標準編號 】 SJ 2794-87
【 標準名稱 】 電子級氣體
【 發布單位 】 電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1987-5-18
【 實施日期 】 1988-10-1
【 開本頁數 】 4P
【 起草單位 】 中國科學院半導體研究所; 電子工業部標準化研究所; 北京半導體器件試驗中心
【 起 草 人 】 尹恩華; 趙長春; 周定華
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