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計量論壇
標題:
SJ/Z 2926-88 集成電路制版設備性能測試方法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-8-6 19:41
標題:
SJ/Z 2926-88 集成電路制版設備性能測試方法
【 標準編號 】 SJ/Z 2926-88
【 標準名稱 】 集成電路制版設備性能測試方法
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1988-3-10
【 實施日期 】 1988-10-1
【 開本頁數 】 19P
【 起草單位 】 電子工業(yè)部第四十五研究所
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