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標(biāo)題: SJ/T 10312-92電子束曝光機(jī)通用技術(shù)條件 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-7-31 09:17
標(biāo)題: SJ/T 10312-92電子束曝光機(jī)通用技術(shù)條件
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ/T 10312-92
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子束曝光機(jī)通用技術(shù)條件  
【 英文名稱 】 General specification of electron beam exposure system
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國機(jī)械電子工業(yè)部
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國機(jī)械電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1992-6-15
【 實施日期 】 1992-12-1
【 開本頁數(shù) 】 13P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 SJ/Z 1793; SJ 1276; JB 8; GBn 193; GB 191; GB 6388
【 起草單位 】 機(jī)械電子工業(yè)部第48研究所
【 起 草 人 】 張俊國




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