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計量論壇
標題:
SJ/T 31100-94離子束蝕刻機完好要求和檢查評定方法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-7-24 16:46
標題:
SJ/T 31100-94離子束蝕刻機完好要求和檢查評定方法
【 標準編號 】 SJ/T 31100-94
【 標準名稱 】 離子束蝕刻機完好要求和檢查評定方法
【 發(fā)布單位 】 CSIC-SJ
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1994-4-15
【 實施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數(shù) 】 5P
【 起草單位 】 電子工業(yè)部第48所
【 起 草 人 】 安志超
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