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標(biāo)題:
SJ/T 31119-94掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)完好要求和檢查評定方法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-7-24 12:49
標(biāo)題:
SJ/T 31119-94掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)完好要求和檢查評定方法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ/T 31119-94
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)完好要求和檢查評定方法
【 發(fā)布單位 】 CSIC-SJ
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1994-4-15
【 實(shí)施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 起草單位 】 國營南光機(jī)器廠
【 起 草 人 】 王洪波
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