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標題: SJ/T 31120-94KSM—MJB3型掩模對準曝光機完好要求和檢查 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-7-24 12:48
標題: SJ/T 31120-94KSM—MJB3型掩模對準曝光機完好要求和檢查
【 標準編號 】 SJ/T 31120-94
【 標準名稱 】 KSM—MJB3型掩模對準曝光機完好要求和檢查評定方法  
【 發布單位 】 CSIC-SJ
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1994-4-15
【 實施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數 】 3P
【 引用標準 】 GB 11481-89
【 起草單位 】 機電部第13所
【 起 草 人 】 薛中堂





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