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標(biāo)題: SJ/T 31124-94AEC—2200開常壓CVD完好要求和檢查評(píng)定方法 [打印本頁(yè)]
作者: woshi_tjy    時(shí)間: 2008-7-24 12:45
標(biāo)題: SJ/T 31124-94AEC—2200開常壓CVD完好要求和檢查評(píng)定方法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 SJ/T 31124-94
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 AEC—2200開常壓CVD完好要求和檢查評(píng)定方法  
【 發(fā)布單位 】 CSIC-SJ
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1994-4-15
【 實(shí)施日期 】 1994-6-1
【 開本頁(yè)數(shù) 】 2P
【 起草單位 】 中國(guó)華晶電子集團(tuán)公司
【 起 草 人 】 張晨輝; 范建超; 顧軍建; 吳正偉




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