計量論壇
標題:
SJ/T 10584-94微電子學光掩蔽技術術語
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-7-20 15:14
標題:
SJ/T 10584-94微電子學光掩蔽技術術語
【 標準編號 】 SJ/T 10584-94
【 標準名稱 】 微電子學光掩蔽技術術語
【 英文名稱 】 Terms of photomasking technology for microelectronics
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1994-8-8
【 實施日期 】 1994-12-1
【 開本頁數 】 29P
【 起草單位 】 電子工業部標準化研究所; 韶光電工廠
【 起 草 人 】 吳保華; 于向東; 陣寶欽; 馮朝斌; 陳華龍; 廖溫初
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