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標題:
氣相色譜儀在純氣與高純氣分析中的應用
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作者:
zhlliu
時間:
2008-7-18 08:23
標題:
氣相色譜儀在純氣與高純氣分析中的應用
氣相色譜儀在純氣與高純氣分析中的應用
前 言
超純氣、高純氣的分析測試是痕量分析學科的一個分支。它是研究氣體純度分析與其中痕量雜質測定的一門范圍較窄但具有現實意義的專業學科。隨著我國經濟的高速發展,對高純氣不僅在數量上、質量上、種類上都不斷提出新的要求,而且對相應的國家標準、檢測理論、方法與檢測儀器的研究、研制與生產都提出了更高的要求。先進的檢測儀器不僅能指導生產工藝的控制與改革,還能確保產品質量、避免生產廠家與使用單位的糾紛。
“超純氣體”一詞是在1964年全國超純氣體測試年會上定義的,即凡氣體純度達5個“9”( 99.999%)以上,總雜質為10x10-6V/V(即10ppm)以下的氣體皆屬“超純氣體范疇。但五十年的發展已經改變了這一定義;已經把5個“9”氣體稱為高純氣,而稱6個“9”以上純度氣體才為超純氣。純度大于99%以上的氣體純度分析都采用扣除雜質的差減法計算,因而氣體純度分析實際是對氣體中微量或痕量的
雜質氣體檢測
。因其檢測方法很多,本文不全面論述,僅對
氣相
色譜儀
檢測雜質氣體的現狀作一小結,并對某些概念上的認識提出看法。水分也是一種雜質氣體,而且是極為特殊的、又無處不在的氣體雜質,因檢測手段特殊,本文也不予論述。
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