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標(biāo)題: YS/T 26-1992硅片邊緣輪廓檢驗(yàn)方法 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時(shí)間: 2008-6-14 10:49
標(biāo)題: YS/T 26-1992硅片邊緣輪廓檢驗(yàn)方法
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 YS/T 26-1992
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片邊緣輪廓檢驗(yàn)方法  
【 發(fā)布單位 】 CSIC-YS
【 批準(zhǔn)單位 】 中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司
【 發(fā)布日期 】 1992-3-9
【 實(shí)施日期 】 1993-1-1
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 928-85,EQV
【 起草單位 】 洛陽單晶硅廠




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