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標題:
YS/T 26-1992硅片邊緣輪廓檢驗方法
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作者:
woshi_tjy
時間:
2008-6-14 10:49
標題:
YS/T 26-1992硅片邊緣輪廓檢驗方法
【 標準編號 】 YS/T 26-1992
【 標準名稱 】 硅片邊緣輪廓檢驗方法
【 發(fā)布單位 】 CSIC-YS
【 批準單位 】 中國有色金屬工業(yè)總公司
【 發(fā)布日期 】 1992-3-9
【 實施日期 】 1993-1-1
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F 928-85,EQV
【 起草單位 】 洛陽單晶硅廠
硅片邊緣輪廓檢驗方法.pdf
2008-6-14 10:49 上傳
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