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標題: JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校... [打印本頁]

作者: 陰雨曉夢 時間: 前天 15:09
標題: JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校...
主題：JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校準規范
內容：
【標準名稱】JJF(電子)0072-2021
【標準編號】非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校準規范
【英文名稱】Calibration Specification of Semiconductor Wafer ResistivityTest System by Non -contact Eddy Current Method
【發布單位】中華人民共和國工業和信息化部
【歸口單位】中國電子技術標準化研究院
【發布日期】 2021-12-02
【實施日期】 2022-04-01
【開本頁數】
【替代標準】首次發布
【起草單位】
【起草人】

JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校準規范.pdf

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