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標題: JJF(電子)0060-2021半導體工藝用安時計現場校準規范 [打印本頁]

作者: 陰雨曉夢 時間: 4 天前
標題: JJF(電子)0060-2021半導體工藝用安時計現場校準規范
主題：JJF(電子)0060-2021半導體工藝用安時計現場校準規范
內容：
【標準編號】JJF(電子)0060-2021
【標準名稱】半導體工藝用安時計現場校準規范
【英文名稱】Field Calibration Specifications for Ampere - hourMeters of Semiconductor Process
【發布單位】中華人民共和國工業和信息化部
【歸口單位】中國電子技術標準化研究院
【發布日期】 2021-12-02
【實施日期】 2022-04-01
【開本頁數】
【替代標準】首次發布
【起草單位】中國電子科技集團公司第十三研究所
【起草人】本規范主要起草人:
喬玉娥(中國電子科技集團公司第十三研究所，
吳愛華(中國電子科技集團公司第十三研究所)荊曉冬(中國電子科技集團公司第十三研究所)
參加起草人:
翟玉衛(中國電子科技集團公司第十三研究所)任宇龍(中國電子科技集團公司第十三研究所，張立飛(中國電子科技集團公司第一三研究所)

JJF(電子)0060-2021半導體工藝用安時計現場校準規范.pdf

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