計量論壇
標題:
膨脹法真空裝置
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作者:
八一八
時間:
2025-6-1 13:59
標題:
膨脹法真空裝置
由薄膜真空計、電離真空計、真空發生裝置組成。利用真空發生裝置可方便、準確地實現不同的真空度，利用薄膜真空計、電離真空計可根據不同要求實現真空計校準。
測 量 范 圍1.0×10[sup]-4[/sup]Pa至1.0×10[sup]5[/sup]Pa
不 確 定 度
U
rel=（1.0～11）%，k=2
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