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計量論壇
標題:
掃描電鏡線性失真度校準
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作者:
skywjp
時間:
2025-4-3 19:11
標題:
掃描電鏡線性失真度校準
請教大家一個問題，掃描電鏡校準校準規范里線性失真度是用10微米二維柵格板，規定了在1000倍的倍率下測量，實際在這個倍率下測量柵格的X和Y方向誤差手動誤差比較大，個人建議應該在2000倍以上的倍率，或者用更大的柵格測量比較合理，這樣可以減少人為測量誤差。
作者:
八一八
時間:
2025-4-4 20:04
只能說明這個機器的軟件不行
作者:
wangdao00
時間:
2025-6-23 14:46
本帖最后由 wangdao00 于 2025-6-23 15:21 編輯
個人認為可以選取客戶常用的倍數下進行該項目的校準，但應在證書中說明。在校準規范的標準器選取中，該項目的倍數是一個范圍。
有些廠商的圖像像素分辨力較差，其1000倍數下，測量手動誤差確實比較大，但所選取的柵格比較大，換算成百分比之后該值一般并不大，對于＜10%的技術指標一般很容易合格。檢過的日立，菲希爾，蔡司極少超過2%的，國產的有些受現場環境影響和本身像素能力等因素，測出來5%。 感覺這個項目，從某些方面看出來儀器的內在能力
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