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計量論壇

標題: 掃描電鏡線性失真度校準 [打印本頁]

作者: skywjp    時間: 2025-4-3 19:11
標題: 掃描電鏡線性失真度校準
請教大家一個問題,掃描電鏡校準校準規范里線性失真度是用10微米二維柵格板,規定了在1000倍的倍率下測量,實際在這個倍率下測量柵格的X和Y方向誤差手動誤差比較大,個人建議應該在2000倍以上的倍率,或者用更大的柵格測量比較合理,這樣可以減少人為測量誤差。
作者: 八一八    時間: 2025-4-4 20:04
只能說明這個機器的軟件不行
作者: wangdao00    時間: 2025-6-23 14:46
本帖最后由 wangdao00 于 2025-6-23 15:21 編輯

個人認為可以選取客戶常用的倍數下進行該項目的校準,但應在證書中說明。在校準規范的標準器選取中,該項目的倍數是一個范圍。

有些廠商的圖像像素分辨力較差,其1000倍數下,測量手動誤差確實比較大,但所選取的柵格比較大,換算成百分比之后該值一般并不大,對于<10%的技術指標一般很容易合格。檢過的日立,菲希爾,蔡司極少超過2%的,國產的有些受現場環境影響和本身像素能力等因素,測出來5%。 感覺這個項目,從某些方面看出來儀器的內在能力




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