技術資料 | |
電源要求 | FPG8601:85~264VAC,50/60 Hz,最大60 VA VLPC:85~264 VAC,50/60 Hz,最大70 VA |
正常工作溫度范圍 | 20~26 ℃ |
環境溫度穩定性 | 0.1 ℃/每分鐘,最大變化率 |
重量 | FPG8601平臺:30 kg (66 lb) FPG8601 終端: 2 kg (4.4 lb) |
VLPC壓力控制器 | 41 kg (90.4 lb) |
尺寸 | FPG8601平臺:53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深 FPG8601終端:12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深 VLPC 壓力控制器:31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深 |
系統控制器 | 運行FPG Tools,Windows操作系統, RS232和 IEEE-488 接口,用于采集FPG 和 DUT 的數據 |
全壓力量程 | 0~15 kPa表壓、絕壓、絕差壓 |
測試介質 | 氮氣或空氣 |
模式轉換時間 | 絕壓至表壓模式:30分鐘 表壓至絕壓模式:1小時 |
振動 | 與傳統的活塞式壓力計相同,真空泵必須用軟管連接 |
壓力供給 | 活塞-套筒潤滑氣(FPG8601):700~800 kPa,清潔、干燥的氮氣或空氣 |
FPG參考真空(絕壓模式):渦輪泵:典型值為378 m3/h,極限壓力為8.10-6 Pa | |
回轉式葉片泵:16.5 m3/h,極限壓力為0.2 Pa | |
VLPC壓力源:700~800 kPa,清潔、干燥的氮氣 | |
VLPC真空:10 m3/h @ 0.5 Pa | |
驅動氣(FPG8601和VLPC):400~700 kPa 壓縮空氣 | |
壓力連接 | 測試高(FPG8601):KF16 測試低(FPG8601):KF16 真空參考(FPG8601):KF25 真空(FPG8601):1/8 in. NPT F 驅動/潤滑(FPG8601):1/8 in. NPT F 壓力源(VLPC):S1/8 in. NPT F 驅動(VLPC):1/8 in. NPT F 真空(VLPC):KF25 |
壓力測量 | |
全量程 | 0~15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓 |
溫度影響 | 監測儀器溫度,并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時,發出報警。 |
分辨力 | 標準:0.010 Pa 高分辨力選件:0.001 Pa |
典型壓力測量 不確定度 | 標準: 表壓、絕差壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數) 絕壓模式:± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數) |
高分辨力選件: 表壓、絕差壓模式:± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數) 絕壓模式:± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數) | |
絕對模式下的典型殘留真空 | 用渦輪分子泵:0.04~0.1 Pa 用回轉式葉片泵:0.3 Pa~0.4 Pa |
壓力控制 | |
控制范圍(Pa) | 表壓模式:5個交疊的控制范圍 最小壓力:0 最小受控壓力:0.1 Pa |
絕壓模式:5個交疊的控制范圍 最小壓力:0.4~1 Pa 最小受控壓力:2 Pa | |
控制精度 | 標準: 表壓模式:± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力選件: 表壓模式:± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 注:控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時的常數更小。 |
標稱測試容積 | 表壓模式:最高20 cc/側(高和低) 絕壓模式:最高500 cc/側(高和低) 壓力穩定時間:1~2分鐘,取決于測試容積 |
活塞模塊 | |
標稱尺寸 | 直徑:35 mm 面積:10 cm2 |
活塞材料 | 碳化鎢 |
套筒材料 | 碳化鎢 |
安裝系統 | 非旋轉,獨立自定心,中央供氣,潤滑壓力 |
活塞-套筒間隙 | 對稱圓錐形間隙,雙錐形,在中央潤滑點為6微米,在活塞末端為1微米 |
潤滑氣體質量 | 清潔、干燥的氨氣或空氣,內部調整為40~70 %相對濕度 |
潤滑氣體壓力 | 表壓模式:40 kPa表壓 絕壓模式:40 kPa 絕壓 潤滑氣流量:< 1 sccm 至高和低壓力室 |
輔助測量 | |
活塞-缸體溫度(℃) | 范圍:0~40 分辨率:0.01 不確定度:± 0.1 |
殘留真空(Pa) | 范圍:0 ~ 13 分辨率:0.001 不確定度:± (0.5 % 讀數 + 5 MPa) |
監控測量 | |
潤滑氣體溫度(℃) | 范圍:0 ~ 40 分辨率:0.1 不確定度:± 0.2 |
潤滑氣壓力(kPa) | 范圍:0 ~ 200 絕壓 分辨率:0.001 不確定度:± 0.1 |
潤滑氣濕度(%RH) | 范圍:5 ~ 95 分辨率:1 不確定度:± 10 |
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