| 技術(shù)資料 | |
| 電源要求 | FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，最大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA |
| 正常工作溫度范圍 | 20～26 ℃ |
| 環(huán)境溫度穩(wěn)定性 | 0.1 ℃/每分鐘，最大變化率 |
| 重量 | FPG8601平臺(tái)：30 kg (66 lb) FPG8601 終端： 2 kg (4.4 lb) |
| VLPC壓力控制器 | 41 kg (90.4 lb) |
| 尺寸 | FPG8601平臺(tái)：53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深 FPG8601終端：12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深 VLPC 壓力控制器：31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深 |
| 系統(tǒng)控制器 | 運(yùn)行FPG Tools，Windows操作系統(tǒng)， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的數(shù)據(jù) |
| 全壓力量程 | 0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓 |
| 測(cè)試介質(zhì) | 氮?dú)饣蚩諝?/td> |
| 模式轉(zhuǎn)換時(shí)間 | 絕壓至表壓模式：30分鐘 表壓至絕壓模式：1小時(shí) |
| 振動(dòng) | 與傳統(tǒng)的活塞式壓力計(jì)相同，真空泵必須用軟管連接 |
| 壓力供給 | 活塞－套筒潤(rùn)滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)饣蚩諝?/td> |
| FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa | |
| 回轉(zhuǎn)式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa | |
| VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)?/td> | |
| VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa | |
| 驅(qū)動(dòng)氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa 壓縮空氣 | |
| 壓力連接 | 測(cè)試高（FPG8601）：KF16 測(cè)試低（FPG8601）：KF16 真空參考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)/潤(rùn)滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25 |
| 壓力測(cè)量 | |
| 全量程 | 0～15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓 |
| 溫度影響 | 監(jiān)測(cè)儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對(duì)性能影響明顯時(shí)，發(fā)出報(bào)警。 |
| 分辨力 | 標(biāo)準(zhǔn)：0.010 Pa 高分辨力選件：0.001 Pa |
| 典型壓力測(cè)量 不確定度 | 標(biāo)準(zhǔn)： 表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) |
| 高分辨力選件： 表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) | |
| 絕對(duì)模式下的典型殘留真空 | 用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa 用回轉(zhuǎn)式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa |
| 壓力控制 | |
| 控制范圍（Pa） | 表壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍 最小壓力：0 最小受控壓力：0.1 Pa |
| 絕壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍 最小壓力：0.4～1 Pa 最小受控壓力：2 Pa | |
| 控制精度 | 標(biāo)準(zhǔn)： 表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力選件： 表壓模式：± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 注：控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時(shí)的常數(shù)更小。 |
| 標(biāo)稱測(cè)試容積 | 表壓模式：最高20 cc/側(cè)（高和低） 絕壓模式：最高500 cc/側(cè)（高和低） 壓力穩(wěn)定時(shí)間：1～2分鐘，取決于測(cè)試容積 |
| 活塞模塊 | |
| 標(biāo)稱尺寸 | 直徑：35 mm 面積：10 cm2 |
| 活塞材料 | 碳化鎢 |
| 套筒材料 | 碳化鎢 |
| 安裝系統(tǒng) | 非旋轉(zhuǎn)，獨(dú)立自定心，中央供氣，潤(rùn)滑壓力 |
| 活塞－套筒間隙 | 對(duì)稱圓錐形間隙，雙錐形，在中央潤(rùn)滑點(diǎn)為6微米，在活塞末端為1微米 |
| 潤(rùn)滑氣體質(zhì)量 | 清潔、干燥的氨氣或空氣，內(nèi)部調(diào)整為40～70 %相對(duì)濕度 |
| 潤(rùn)滑氣體壓力 | 表壓模式：40 kPa表壓 絕壓模式：40 kPa 絕壓 潤(rùn)滑氣流量：< 1 sccm 至高和低壓力室 |
| 輔助測(cè)量 | |
| 活塞－缸體溫度(℃) | 范圍：0～40 分辨率：0.01 不確定度：± 0.1 |
| 殘留真空(Pa) | 范圍：0 ～ 13 分辨率：0.001 不確定度：± (0.5 % 讀數(shù) + 5 MPa) |
| 監(jiān)控測(cè)量 | |
| 潤(rùn)滑氣體溫度(℃) | 范圍：0 ～ 40 分辨率：0.1 不確定度：± 0.2 |
| 潤(rùn)滑氣壓力(kPa) | 范圍：0 ～ 200 絕壓 分辨率：0.001 不確定度：± 0.1 |
| 潤(rùn)滑氣濕度(%RH) | 范圍：5 ～ 95 分辨率：1 不確定度：± 10 |
| 歡迎光臨 計(jì)量論壇 (http://www.bkd208.com/) | Powered by Discuz! X3.4 |