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標題: 微壓活塞式壓力計 [打印本頁]

作者: text    時間: 2025-3-25 19:38
標題: 微壓活塞式壓力計
技術資料
電源要求FPG8601:85~264VAC,50/60 Hz,最大60 VA
VLPC:85~264 VAC,50/60 Hz,最大70 VA
正常工作溫度范圍20~26 ℃
環境溫度穩定性0.1 ℃/每分鐘,最大變化率
重量FPG8601平臺:30 kg (66 lb)
FPG8601 終端: 2 kg (4.4 lb)
VLPC壓力控制器41 kg (90.4 lb)
尺寸FPG8601平臺:53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深
FPG8601終端:12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深
VLPC 壓力控制器:31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深
系統控制器運行FPG Tools,Windows操作系統, RS232和 IEEE-488 接口,用于采集FPG 和 DUT 的數據
全壓力量程0~15 kPa表壓、絕壓、絕差壓
測試介質氮氣或空氣
模式轉換時間絕壓至表壓模式:30分鐘
表壓至絕壓模式:1小時
振動與傳統的活塞式壓力計相同,真空泵必須用軟管連接
壓力供給活塞-套筒潤滑氣(FPG8601):700~800 kPa,清潔、干燥的氮氣或空氣
FPG參考真空(絕壓模式):渦輪泵:典型值為378 m3/h,極限壓力為8.10-6 Pa
回轉式葉片泵:16.5 m3/h,極限壓力為0.2 Pa
VLPC壓力源:700~800 kPa,清潔、干燥的氮氣
VLPC真空:10 m3/h @ 0.5 Pa
驅動氣(FPG8601和VLPC):400~700 kPa 壓縮空氣
壓力連接測試高(FPG8601):KF16
測試低(FPG8601):KF16
真空參考(FPG8601):KF25
真空(FPG8601):1/8 in. NPT F
驅動/潤滑(FPG8601):1/8 in. NPT F
壓力源(VLPC):S1/8 in. NPT F
驅動(VLPC):1/8 in. NPT F
真空(VLPC):KF25
壓力測量
全量程0~15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓
溫度影響監測儀器溫度,并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時,發出報警。
分辨力標準:0.010 Pa
高分辨力選件:0.001 Pa
典型壓力測量
不確定度
標準:
表壓、絕差壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數)
絕壓模式:± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數)
高分辨力選件:
表壓、絕差壓模式:± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數)
絕壓模式:± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數)
絕對模式下的典型殘留真空用渦輪分子泵:0.04~0.1 Pa
用回轉式葉片泵:0.3 Pa~0.4 Pa
壓力控制
控制范圍(Pa)表壓模式:5個交疊的控制范圍
最小壓力:0
最小受控壓力:0.1 Pa
絕壓模式:5個交疊的控制范圍
最小壓力:0.4~1 Pa
最小受控壓力:2 Pa
控制精度標準:
表壓模式:± (0.020 Pa + 100 ppm 量程)
絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程)

高分辨力選件:
表壓模式:± (0.005 Pa + 60 ppm 量程)
絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程)

注:控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時的常數更小。
標稱測試容積表壓模式:最高20 cc/側(高和低)
絕壓模式:最高500 cc/側(高和低)
壓力穩定時間:1~2分鐘,取決于測試容積
活塞模塊
標稱尺寸直徑:35 mm
面積:10 cm2
活塞材料碳化鎢
套筒材料碳化鎢
安裝系統非旋轉,獨立自定心,中央供氣,潤滑壓力
活塞-套筒間隙對稱圓錐形間隙,雙錐形,在中央潤滑點為6微米,在活塞末端為1微米
潤滑氣體質量清潔、干燥的氨氣或空氣,內部調整為40~70 %相對濕度
潤滑氣體壓力表壓模式:40 kPa表壓
絕壓模式:40 kPa 絕壓
潤滑氣流量:< 1 sccm 至高和低壓力室
輔助測量
活塞-缸體溫度(℃)范圍:0~40
分辨率:0.01
不確定度:± 0.1
殘留真空(Pa)范圍:0 ~ 13
分辨率:0.001
不確定度:± (0.5 % 讀數 + 5 MPa)
監控測量
潤滑氣體溫度(℃)范圍:0 ~ 40
分辨率:0.1
不確定度:± 0.2
潤滑氣壓力(kPa)范圍:0 ~ 200 絕壓
分辨率:0.001
不確定度:± 0.1
潤滑氣濕度(%RH)范圍:5 ~ 95
分辨率:1
不確定度:± 10

FPG8601 VLPC 操作員手冊.pdf

2.96 MB, 下載次數: 4, 下載積分: 金幣 -1


作者: wjq6421    時間: 2025-3-26 02:38
仰慕已久的設備,如果有的話,來一臺。
作者: wjq6421    時間: 2025-3-27 01:26
想買一臺,想買一臺。




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