規格 | 量程 | 范圍 | 測量精度 | 分辨率 |
| 線性測量 | 0 m – 80 m | ±0.5ppm | 0.001μm | |
| 角度測量 | 0 m – 15 m | ±175 mm/m | ±0.002A±0.5±0.1M微弧度 ±0.0002A±0.5±0.1M微弧度* | 0.1μm/m |
| 直線度測量 | 0.1 m – 4.0 m* 1 m – 30 m | ±2.5 mm | ±0.005A±0.5±0.15M[sup]2[/sup]μm ±0.025A±5±0.015M[sup]2[/sup]μm | 0.01μm 0.1μm |
| 回轉軸測量 | 25轉 | ±5μm/m | ||
| 平面度測量 | 0 m – 15 m | ±1.5 mm | ±0.002A±0.02 M2μm | 0.01μm |
| 垂直度測量 | ±3/M mm/m | ±0.005A±2.5±0.8 M微弧度 ±0.025A±2.5±0.08 M微弧度 | 0.01μm/m |
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