計(jì)量論壇

近日，市場(chǎng)監(jiān)管總局批準(zhǔn)新建區(qū)域法表面與亞表面結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)基準(zhǔn)裝置，該裝置在國(guó)際上率先實(shí)現(xiàn)從二維“輪廓線”到三維“空間體”的維度提升，實(shí)現(xiàn)表界面結(jié)構(gòu)空間立體成像。

該基準(zhǔn)裝置實(shí)現(xiàn)表界面微觀幾何形貌結(jié)構(gòu)計(jì)量能力從“盲人摸象”輪廓法躍升至“三維全景”區(qū)域法的技術(shù)跨越，開創(chuàng)亞表面結(jié)構(gòu)計(jì)量體系，填補(bǔ)我國(guó)三維表面形貌與亞表面結(jié)構(gòu)計(jì)量能力空白。其核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)完全自主可控，使我國(guó)在表界面計(jì)量領(lǐng)域完成了從跟跑到領(lǐng)跑的歷史性跨越，為集成電路、高端智能裝備、航空航天、遙感探測(cè)等精密制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展夯實(shí)計(jì)量基礎(chǔ)。

超精密制造、原子級(jí)制造已成為當(dāng)前和未來(lái)一段時(shí)間制造強(qiáng)國(guó)建設(shè)的重要發(fā)展方向。表界面結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的準(zhǔn)確評(píng)定直接關(guān)乎絕大多數(shù)制造業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量安全、疲勞失效等全壽命周期問(wèn)題。因此國(guó)家表界面結(jié)構(gòu)計(jì)量基準(zhǔn)與計(jì)量體系的能力水平是我國(guó)搶占全球制造業(yè)制高點(diǎn)的決定性因素之一。

該基準(zhǔn)裝置不僅實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)表面粗糙度參數(shù)迭代更新至區(qū)域法三維表面形貌參數(shù)，還將測(cè)量維度從表面形貌拓展至表面下130微米范圍內(nèi)的亞表面區(qū)域微觀幾何結(jié)構(gòu)，達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。一次測(cè)量即可同時(shí)獲得表界面立體空間的微觀形貌和結(jié)構(gòu)信息，猶如在長(zhǎng)白山天池水域內(nèi)，同時(shí)精準(zhǔn)獲取水面漣漪與水中魚群乃至水底地貌。